Résumé
L'ISO 25178-603:2013 décrit les caractéristiques métrologiques des microscopes de mesure de profil et d'état de surface surfacique par interférométrie à glissement de franges (PSI).
Informations générales
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État actuel: AnnuléeDate de publication: 2013-10Stade: Annulation de la Norme internationale [95.99]
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Edition: 1Nombre de pages: 28
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Comité technique :ISO/TC 213ICS :17.040.20
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PubliéeISO 25178-603:2025