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Resumen

This document describes the influence quantities and instrument characteristics of confocal microscopy systems for areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography images, the methods described in this document can be applied to profiling measurements as well.

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Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2019-03
    Etapa
    : Norma Internacional en proceso de revisión sistemática [90.20]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 21
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 213
    ICS :
    17.040.20 
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