ISO 14644-12:2018
p
ISO 14644-12:2018
69432
недоступно на русском языке

This document covers the monitoring of air cleanliness by particles in terms of concentration of airborne nanoscale particles.

For monitoring purposes, only populations of particles with a lower size limit of 0.1 microns (100 nm) or less ? "nanoscale" ? are considered.

The monitoring given in this document is for use mainly in "operational" states.

NOTE 1 For the purposes of this document, reference is made to "nanoscale particles", which means all nano-objects having one (nanoplate), two (nanofibre) or three (nanoparticle) dimensions in the nanoscale.

NOTE 2 As a consequence, the specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration of the cleanroom in operational state also considers process specifics, e.g., used equipment, personnel behaviour, etc.

NOTE 3 Health and safety considerations are excluded from this document.


Общая информация 

  •  :  Published
     : 2018-08
  •  : 1
  •  : ISO/TC 209 Cleanrooms and associated controlled environments
  •  :
    13.040.35 Cleanrooms and associated controlled environments

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития:

Приобрести данный стандарт

ru
Формат Язык
std 1 58 PDF + ePub
std 2 58 Бумажный
  • CHF58

Жизненный цикл


Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

Будьте в курсе актуальных новостей ИСО

Подписывайтесь на наши новости, обзоры, а также на информацию о продуктах.