недоступно на русском языке

Тезис

 Предпросмотр

ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.


Общая информация 

  • Текущий статус
     :  Published
    Дата публикации
     : 2015-08
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет
     : ISO/TC 201/SC 9 Scanning probe microscopy
  • ICS
     :
    71.040.40 Chemical analysis

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития:

9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Приобрести данный стандарт

Формат Язык
PDF
Бумажный
  • CHF92

Жизненный цикл


Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

Будьте в курсе актуальных новостей ИСО

Подписывайтесь на наши новости, обзоры, а также на информацию о продуктах.

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. МКС
  5. 71
  6. 71.040
  7. 71.040.40
  8. ISO 13083:2015