Numéro de référence
ISO 18114:2003
© ISO 2025
ISO 18114:2003
Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Détermination des facteurs de sensibilité relative à l'aide de matériaux de référence à ions implantés
Edition 1
2003-04
Annulée
Annulée (Edition 1, 2003)

Résumé

ISO 18114:2003 specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials.

The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

Informations générales

  • État actuel
     : Annulée
    Date de publication
     : 2003-04
    Stade
    : Annulation de la Norme internationale [95.99]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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