Résumé

ISO 18114:2003 specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials.

The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.


Informations générales 

  • État actuel
     :  Annulée
    Date de publication
     : 2003-04
  • Edition
     : 1
  • Comité technique
     : ISO/TC 201/SC 6 Spectrométrie de masse des ions secondaires
  • ICS
     :
    71.040.40 Méthodes d'analyse chimique

Objectifs de développement durable

Cette norme contribue à l'Objectif de développement durable suivant :

9
Industrie, innovation et infrastructure

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