État actuel : Annulée

Cette norme a été révisée par ISO 16700:2016

Résumé

L'ISO 16700:2004 spécifie une méthode pour étalonner le grandissement des images générées par un microscope électronique à balayage (MEB) en employant un matériau de référence approprié. Cette méthode est limitée aux grandissements déterminés par la taille des structures disponibles dans le matériau de référence d'étalonnage. L'ISO 16700:2004 ne s'applique pas aux MEB dédiés au mesurage de dimension critique.

Informations générales

  • État actuel
     : Annulée
    Date de publication
     : 2004-03
    Stade
    : Annulation de la Norme internationale [95.99]
  • Edition
     : 1
    Nombre de pages
     : 16
  • Comité technique :
    ISO/TC 202/SC 4
    ICS :
    37.020 
  • RSS mises à jour

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