Résumé

L'ISO 14606:2000 donne des lignes directrices sur l'optimisation des paramètres de profilage en profondeur par pulvérisation à l'aide de matériaux mono- et multicouches de référence appropriés afin d'atteindre une résolution en profondeur optimale en fonction des paramètres de l'instrument en spectroscopie des électrons Auger, en spectroscopie de photoélectrons par rayons X et en spectrométrie de masse des ions secondaires.

L'ISO 14606:2000 n'est pas prévue pour couvrir l'utilisation de systèmes multicouches spéciaux tels que des couches dopées delta.


Informations générales 

  • État actuel
     : Annulée
    Date de publication
     : 2000-10
  • Edition
     : 1
    Nombre de pages
     : 17
  • Comité technique
     : ISO/TC 201/SC 4 Profilage d'épaisseur
  • ICS
     :
    71.040.40 Méthodes d'analyse chimique

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