Analyse chimique des surfaces — Profilage d'épaisseur par bombardement — Optimisation à l'aide de systèmes mono- ou multicouches comme matériaux de référence

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Analyse chimique des surfaces — Profilage d'épaisseur — Mesurage de l'épaisseur bombardée

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Analyse chimique des surfaces — Profilage d'épaisseur — Méthodes d'alignement du faisceau d'ions et la mesure associée de densité de courant ou de courant pour le profilage d'épaisseur en AES et XPS

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Analyse chimique des surfaces — Profilage d'épaisseur — Méthode pour la détermination de la vitesse de pulvérisation lors du profilage d'épaisseur par pulvérisation en spectroscopie de photoélectrons par rayons X, spectroscopie d'électrons Auger et spectrométrie de masse des ions secondaires à l'aide de films minces multicouches

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Analyse chimique des surfaces — Profilage en profondeur — Mesurage de la vitesse de pulvérisation: méthode par empreinte de grille au moyen d'un profilomètre à stylet mécanique

Analyse chimique des surfaces — Profilage d'épaisseur — Profilage d'épaisseur non destructif de films minces d'oxydes de métaux lourds à l'échelle nanométrique sur des substrats de Si par diffusion d'ions de moyenne énergie